光譜分析儀器是用來分析檢測物質(zhì)元素組成的一種重要儀器，有直讀光譜儀，X熒光光譜儀，其實(shí)本質(zhì)就是分析光的組成來判定元素組成的一種方法，作為衡量檢測效果的度量單位，精密度又是一種客觀存在。
精密度是指在規(guī)定條件下，獨(dú)立試驗結(jié)果間的一致性。表征測定過程中隨機(jī)誤差的大小。 精密度的大小，極差、平均偏差、相對平均偏差、標(biāo)準(zhǔn)偏差和相對標(biāo)準(zhǔn)偏差都可用來表示精密度大小，較常用的是標(biāo)準(zhǔn)偏差。說明精密度越高，在統(tǒng)計學(xué)上為更準(zhǔn)確地衡量精密度，一般用標(biāo)準(zhǔn)（偏）差來表示。 精密度是表示試驗的重復(fù)性與再現(xiàn)性，高的精密度是保證獲得良好準(zhǔn)確度的先決條件，一般說來，精密度不高，就不可能有良好的準(zhǔn)確度。反之，精密度高，準(zhǔn)確度不一定好，這種情況表明測定中隨機(jī)誤差小，但系統(tǒng)誤差較大。
光譜分析儀的精密度
平行性
平行性指在同一實(shí)驗室中，當(dāng)分析人員、分析設(shè)備和分析時間都相同時，用同一分析方法對同一樣品進(jìn)行雙份或多份平行樣測定結(jié)果之間的符合程度。
重復(fù)性
重復(fù)性指在同一實(shí)驗室內(nèi)，當(dāng)分析人員、分析設(shè)備和分析時間三因素中至少有一項不相同時，用同一分析方法對同一樣品進(jìn)行的兩次或兩次以上獨(dú)立測定結(jié)果之間的符合程度。
再現(xiàn)性
在不同的實(shí)驗室，由不同操作者使用不同的設(shè)備，按相同的試驗方法，對同一試樣（或元件）相互獨(dú)立進(jìn)行的試驗結(jié)果間的一致性。 試驗結(jié)果再現(xiàn)性和重復(fù)性的區(qū)別是顯而易見的。雖然都是指同一試樣的試驗結(jié)果之間的一致性，但其前提不同。重復(fù)性是在試驗條件保持不變的情況下，連續(xù)多次試驗結(jié)果之間的一致性；而再現(xiàn)性則是指在試驗條件改變了的情況下，試驗結(jié)果之間的一致性。 再現(xiàn)性又稱為復(fù)現(xiàn)性、重現(xiàn)性，用再現(xiàn)性標(biāo)準(zhǔn)差來表示。再現(xiàn)性標(biāo)準(zhǔn)差有時也稱為組間標(biāo)準(zhǔn)差。在給出再現(xiàn)性時，應(yīng)詳細(xì)地說明試驗條件改變的情況，包括：試驗人員、試驗儀器、地點(diǎn)、使用條件及時間。這些內(nèi)容可以改變其中一項、多項或全部。
期間測量精密度
期間測量精密度，簡稱期間精密度，指一段時期內(nèi)在期間精密度條件下的精密度，類似于日常工作中常說的“批間精密度”。 期間精密度條件指相同測量程序、相同地點(diǎn)，在一個長時期內(nèi)重復(fù)測量同一被測對象的一組測量條件。在這一段時間內(nèi)可以對儀器進(jìn)行重新校準(zhǔn)或更換操作者等。